LPMS-DCA100-雙工位加工系統
驅動平臺:高精密氣浮電動臺
適配特性:可搭載于光學平臺,兼容客戶現有激光器,支持多波長接入
驅動平臺:高精密氣浮電動臺
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產品說明
功能模塊:顯微振鏡加工模塊、微區聚焦直寫模塊、TGV 加工頭
驅動平臺:高精密氣浮電動臺
適配特性:可搭載于光學平臺,兼容客戶現有激光器,支持多波長接入
產品參數
| 關鍵產品參數 | |
| 工作波長 | 標配 1030 (1064) nm,可選配 515 (532) nm |
| 行程范圍 | XYZ 軸 100×100×15mm(支持定制其他行程規格) |
| 直寫模塊 | 采用同軸成像設計,激光焦點與顯微成像共焦,保障加工精度 |
| 物鏡配置 | 5X、10X、20X、50X 可見近紅外物鏡 |
| 成像方式 | 同軸照明成像,成像清晰、細節還原度高 |
| 測距模塊 | 660nm 顯微自動聚焦模塊,精度≤1/2 景深,聚焦精準快速 |

產品核心特點
靈活適配:支持安裝在光學平臺,兼容客戶現有激光器,可靈活引入多波長,適配多樣化加工需求;
多功能加工:涵蓋顯微振鏡掃描、物鏡微區直寫、玻璃打孔等核心功能,支持 2D/3D 加工模式,適配多格式文件導入與實時預覽,操作便捷高效;
高精度保障:配備高分辨率精密氣浮臺,搭配顯微自動聚焦測距模塊,定位精準、運行穩定;
智能操控:搭載所見即所得機器視覺系統,直觀呈現加工狀態;支持電動偏振調節、能量精準調控,可實現 SLM 相位圖耦合,滿足精細加工要求;
高效加工:具備加減速去除功能及兩軸 PSO(位置同步輸出)功能,優化加工軌跡,提升加工效率與質量。
產品尺寸圖
